碳化硅晶圓研磨拋光行業(yè)正處于第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的關(guān)鍵階段。由于碳化硅材料硬度極高,加工難度大,對(duì)研磨拋光工藝的精度、穩(wěn)定性要求極為嚴(yán)苛。
作為核心耗材的砂輪、拋光墊、拋光液等產(chǎn)品,行業(yè)面臨技術(shù)門檻高、國(guó)際認(rèn)證復(fù)雜等挑戰(zhàn)。
碳化硅晶圓研磨拋光行業(yè)正處于第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的關(guān)鍵階段。由于碳化硅材料硬度極高,加工難度大,對(duì)研磨拋光工藝的精度、穩(wěn)定性要求極為嚴(yán)苛。
作為核心耗材的砂輪、拋光墊、拋光液等產(chǎn)品,行業(yè)面臨技術(shù)門檻高、國(guó)際認(rèn)證復(fù)雜等挑戰(zhàn)。